Oleh : Dwi Sukma Pratiwi

LIGA merupakan sebuah akronim Bahasa Jerman yaitu, Lithographie, Galvanoformung, Abformung; dalam Bahasa Inggris dapat diartikan sebagai Lithography, Electroplating, and Molding. Teknologi ini merujuk kepada teknologi tinggi mengenai modul pencetakan material (molding) skala nano dengan keakurasian tinggi dan tingkat kekasaran permukaan molding yang rendah.

Salah satu bidang teknologi yang berkembang semakin maju mengenai perangkat-perangkat skala nanometer; teknologi tersebut biasa dikenal dalam sebutan MEMS(Micro-Electricmechanical System). Untuk mendukung keberadaan teknologi tersebut, dibutuhkan fabrikasi secara massal, diperlukan molding yang mendukung, dari keperluan ini terciptalah teknologi NANO (Not-too-High Aspect Ratio Nanostructure), HARNST(High Aspect Ratio Nanostructure), HARMST(High Aspect Ratio Microstructure), dan HARCST(High Aspect Ratio Centimeter Structure). Teknologi MEMS sendiri mengutamakan kepada fabrikasi massal, material non-silikon, dan keakurasian bahan yang lebih baik.

Prinsip dasar LIGA (seperti ditunjukan pada Gambar 1) dapat diambil poin penting dari akronim-akronimnya; membuat mold dari proses Lithography yang dilakukan oleh X-Ray untuk membuat material menjadi lebih resistif terhadap cairan developer sehingga dihasilkan efek emboss yang kemudian dilanjutkan oleh proses Electroplating untuk membuat struktur emboss hasil Litography X-Ray menjadi cetakan yang dapat siap memfabrikasi secara massal seperti yang ditunjukan pada Gambar 2.b.

X-Ray yang digunakan dalam metode LIGA X-Ray, sampai saat ini digunakan X-Ray sebagai hasil dari perangkat Synchotron. Energi yang digunakan berkisar antara 500eV-15keV tergantung kepada bahan yang akan diberikan sifat ketahanan (resistansi) terhadap cairan developer nantinya, tetapi bahan yang biasanya digunakan untuk diresistansikan adalam PMMA (Poly Methyl-Metacrilate). Dalam Tabel 1 disajikan mengenai besaran energi photon untuk kebutuhan metode, juga hubungan dengan kebutuhan ketebalan membran yang berfungsi sebagai penahan diatas lapisan PMMA (dapat digunakan Silicon atau Berilium atau Permata), kemampuan energi photon meresistansi PMMA, kebutuhan ketebalan dari absorber (biasa digunakan emas), dan waktu development (pengembangan) PMMA.

PUSTAKA

 

  1. J Nanomanufacturing A traceable Fabrication Processs for X-Ray LIGA. www. minifab.com.au/Assets/pdf/Int. Diakses 17 Desember 2012.
  2. LIGA Process. www.x-ray-optics.de. Diakses 17 Desember 2012.
  3. LIGA. www.en.wikipedia.org-wiki-LIGA. Diakses 17 Desember 2012.
  4. Microfabrication : LIGA-X and Application. R.K Kupka. Elsevier Science : 2006. Laboratoire pout I’Utilisation du Rayonnement Electromagnetique, France.

One Reply to “TEKNOLOGI NUKLIR PEMBUAT CETAKAN DENGAN LIGA X-RAY”

  1. Jadi LIGA ini metode untuk pencetakan material skala nano? Material apa saja yang bisa dicetak dgn menggunakan metode ini?

Leave a Reply

Your email address will not be published. Required fields are marked *

This site uses Akismet to reduce spam. Learn how your comment data is processed.